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工
作
臺

金屬臺尺寸(mm)

354×228

404×228

450×280

500×330

606×466

玻璃臺尺寸(mm)

210×160

260×160

306×196

350×250

450×350

運動行程(mm)

150×100

200×100

250×150

300×200

400×300

儀器重量（kg）

100

110

120

140

240

外型尺寸（長x寬x高）

756x540x860

670x660x950

720x950x1020

Z軸調焦升降行程

150mm

X.Y坐標示值誤差

≤(3+L/75)μm(L為被測長度單位:mm)

工作距離

92mm

X、Y、Z數(shù)顯解析度

0.5μm

電源：

180V(AC)～260V(AC)　，50HZ

影象
系統(tǒng)

攝像機

國產(chǎn)彩色1/3”CCD攝像機

變焦鏡頭

國產(chǎn)變焦鏡頭

變焦鏡頭倍率

0.7～4.5X

物方視場

8.1～1.3mm

視頻倍率

33～195X

照明

表面光源與透射光源均用LED，亮度可調

測量與電腦系統(tǒng)

QMS3D-M、客戶自備電腦