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工
作
臺(tái)

金屬臺(tái)尺寸(mm)

450×280

500×330

606×466

玻璃臺(tái)尺寸(mm)

306×196

350×280

450×350

運(yùn)動(dòng)行程(mm)

250×120

270×170

370×270

儀器重量（kg）

146

168

266

外型尺寸（長(zhǎng)x寬x高）

760x600x900

970x670x940

Z軸調(diào)焦升降行程

150mm

X.Y坐標(biāo)示值誤差

≤(2.5+L/100)μm(L為被測(cè)長(zhǎng)度單位:mm)

工作距離

92mm

X、Y、Z數(shù)顯解析度

0.5μm

電源：

180V(AC)～260V(AC)　，50HZ

影象
系統(tǒng)

攝像機(jī)

日本進(jìn)口SENTECH彩色1/2″CCD攝像機(jī)

變焦鏡頭

美國(guó)NAVTAR變焦鏡頭

變焦鏡頭倍率

0.7～4.5X

物方視場(chǎng)

10.6～1.6mm

視頻倍率

23.5～148X

照明

表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào)

測(cè)量與電腦系統(tǒng)

QMS3D、品牌電腦