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技術規(guī)格參數(shù)
|
儀器型號 |
VTM-1510F |
VTM-2010F |
VTM-2515F |
VTM-3020F |
||
|
工
作
臺 |
金屬尺寸（mm） |
354X228 |
404X228 |
450X280 |
500X300 |
|
|
玻璃臺尺寸（mm） |
210X160 |
260X120 |
306X196 |
350X250 |
||
|
X、Y運動行程（mm） |
150X100 |
200X100 |
250X150 |
300X200 |
||
|
Z向行程（mm） |
150 |
150 |
200 |
200 |
||
|
X、Y、Z向分辨率（μm） |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
||
|
X、Y坐標示值誤差 （μm） |
(3+L/75) μm (L為被測長度單位: mm) |
|||||
|
儀器重量（kg） |
100 |
110 |
135 |
140 |
||
|
外形尺寸（mm） |
540X667X850 |
800X675X920 |
||||
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目視系統(tǒng) |
影像系統(tǒng) |
|
進口 1/2〞CCD攝像機
QMS3D-M軟件 |
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物鏡放大倍數(shù) |
1X、3X（標配）、5X |
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目鏡放大倍數(shù) |
10X（單、雙目同）（選） |
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|
總放大倍數(shù) |
10X—50X |
|
|
物鏡放大倍率誤差 |
包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≤0.08% |
|
|
透射照明光源 |
24V/20W鹵素鎢燈 |
|
|
反射照明光源 |
12V LED環(huán)形燈及帶激光指示器反射照明 |
|
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