CV-3100/CV-4100
X軸 |
測(cè)量范圍 |
100mm或200mm |
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分辨率 |
0.05μm |
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測(cè)量方法 |
反射型光柵尺 |
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驅(qū)動(dòng)速度 |
80mm/s和手動(dòng) |
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測(cè)量速度 |
0.02-5mm/s |
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測(cè)量方向 |
向前/向后 |
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直線度 |
0.8μm /mm,2μm/mm(當(dāng)X軸在水平方向上) |
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指示精度
(20℃) |
±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)
±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)
±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
±(0.8+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)
L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm) |
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傾斜范圍 |
±45° |
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Z2軸(立軸) |
垂直行程 |
300mm或500mm |
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分辨率 |
1μm |
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測(cè)量方法 |
ABSQLUTE光柵尺 |
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驅(qū)動(dòng)速度 |
0-20mm/s和手動(dòng) |
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Z1軸 |
測(cè)量范圍 |
±25mm |
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分辨率 |
0.2μm(CV-3100系列)
0.05μm(CV-4100系列) |
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測(cè)量方法 |
光柵尺(CV-31000系列)
Laser holigage(CV-4100系列) |
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指示精度
(20℃) |
±(2+14H/100)μm(CV-3100系列)
±(0.8+12H/00)0.05μm(CV-4100系列)
H為水平位置上的測(cè)量高度(mm) |
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探針上下運(yùn)作 |
弧形運(yùn)動(dòng) |
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探針?lè)较?/span> |
向上/向下 |
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測(cè)力 |
30mN |
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跟蹤角度 |
向上 |
77° |
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向下 |
87° |
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探針針尖 |
半徑 |
25μm |
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材料 |
硬質(zhì)合金針尖 |
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基座尺寸(WxH) |
750x600mm或1000x450mm |
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基座材料 |
花崗巖 |
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重量 |
主機(jī) |
140kg(S4) 150kg(H4) 155kg(W4)
145lg(S8) 155kg(H8) 160kg(W8) |
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控制裝置 |
14kg |
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遙控箱 |
0.9kg |
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電源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz |
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能耗 |
400W僅限主機(jī) |
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